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空氣過濾器
20世紀90年代初,國外曾對高效過濾器玻纖濾紙的含硼問題爭吵了一陣,隨后,過濾器的微量揮發(fā)元素成了芯片廠關(guān)注的事情。粘在集成電路上的粉塵可能造成斷路、短路,粉塵直接影響產(chǎn)品的成品率。當今,半導(dǎo)體工業(yè)(芯片廠)對生產(chǎn)環(huán)境空氣潔凈程度高挑剔,對空氣過濾器的要求也最苛刻。
近幾年,國外出現(xiàn)了聚四氟乙烯纖維高效過濾材料,這種材料沒有揮發(fā)物,但它是帶靜電的“駐極體”,少了個隱患,多了個麻煩,過濾后的空氣要進行電中和以消除空氣中的離子。目前這種材料的價格偏高,大部分過濾器仍使用玻璃纖維濾紙。過濾器上可能的微量揮發(fā)元素主要來源于粘結(jié)劑和清洗劑,為芯片廠供貨的過濾器廠商要在這上面下些功夫。
衡量芯片集成度的指標之一是“線寬”,即電路上導(dǎo)線的寬度。在以微米計算線寬的年代,人們說制造環(huán)境對粉塵粒徑的限制是小于線寬的1/10,隨著線寬不斷變小,1/10之說又變成了1/4、1/2。2002年,普通微機中P4處理器的線寬縮小到了0.13mm,此時任何粉塵都可能損害電路,粒徑與線寬的傳統(tǒng)比較已經(jīng)過時了。
芯片廠傳統(tǒng)的通風(fēng)形式是“大循環(huán)”,車間的整個天花板上布滿高效過濾器,整個地面為回風(fēng)柵板。現(xiàn)在芯片廠有些車間使用自帶風(fēng)機的過濾裝置,即FFU。大循環(huán)和FFU兩種形式都能達到足夠的潔凈度,只是在運行管理和能耗上有所差異。
不論是普通高效過濾器還是FFU,出廠前都要經(jīng)過逐臺掃描測試。國內(nèi)目前沒有掃描測試方法標準,能擠進芯片廠的過濾器廠家是按歐美標準對過濾器進行掃描測試的。芯片廠的人認為,過濾器傳統(tǒng)檢驗方法用的試驗粉塵本身就是污染源,所以芯片廠不買鈉焰法和DOP法的帳。
空氣中的海鹽粒子是所有電子工業(yè)的大敵,但空氣中海鹽粉塵的顆粒比較大,普通過濾器就能將其過濾掉。有人說搞電子工業(yè)的理想地點應(yīng)該遠離海岸,可沿海地區(qū)經(jīng)濟發(fā)達,芯片廠一窩蜂似的就建在了沿海地區(qū),在過濾器上多花點錢就是了。
當今的過濾技術(shù)可以將潔凈室的粉塵濃度降到近乎為零,你想要多干凈都能達到。當芯片上的線寬小到0.5mm時,人們發(fā)現(xiàn)空氣中的化學(xué)污染物成了影響成品率的主要危害,于是,在線寬小于0.5mm的芯片廠空調(diào)系統(tǒng)中普遍配置了化學(xué)過濾器。化學(xué)過濾器的原理和制造工藝并不復(fù)雜,它就是活性炭過濾器,但傳統(tǒng)的活性炭過濾器制造廠和**廠沒有搭上芯片廠這班車,芯片廠的化學(xué)過濾器大都是空調(diào)過濾器的制造廠家提供的。
化學(xué)污染物的來源可能是:室外空氣、工藝本身、人、裝修材料。多數(shù)情況下,設(shè)計師和現(xiàn)場人員也說不清污染物的種類和濃度,因此,為他們提供的化學(xué)過濾器至少應(yīng)具有兩個特點:廣譜吸附性能、足夠多的活性炭材料。
所謂廣譜吸附就是對什么都能多少吸附些,能有這種功能的就是最普通、最便宜的顆粒活性炭。如果能確定污染物種類,就可以對活性炭材料進行有針對性的化學(xué)處理,以增強對特定污染物的吸附能力。過濾器供應(yīng)商有時還要提供相應(yīng)的現(xiàn)場檢測服務(wù),以幫助用戶確定化學(xué)過濾器的使用情況,這就要求供應(yīng)商中有搞化學(xué)過濾的專家,并與名氣大的化學(xué)實驗室有密切的關(guān)系。
半導(dǎo)體工業(yè)并非人們普遍認為的“無煙工業(yè)”,它也有環(huán)境問題。那里經(jīng)常采用最新的工藝和材料,有些化學(xué)物品在其安全性尚未得到評估前就已經(jīng)大量使用了,稍不小心就會造成嚴重的化學(xué)污染,既有地下水污染,也有空氣污染,硅谷就曾為此付出過驚人的代價。為了保險,有些企業(yè)在排風(fēng)系統(tǒng)中也使用化學(xué)過濾器。
遺憾的是,國內(nèi)過濾器廠商沒有幾家在那上面下功夫,所以國內(nèi)芯片廠目前使用的化學(xué)過濾器多數(shù)是進口產(chǎn)品。中國正處在新一輪芯片廠建設(shè)的狂熱中,為此,今后幾年國內(nèi)需要數(shù)億元的高效過濾器和化學(xué)過濾器,如果國內(nèi)過濾器商家像以往那樣只熱衷于抄襲、猜疑、各顧各地瞎忙活,不在技術(shù)上進取、不相互交流,芯片廠這個難得的市場將屬于外來者。
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